真空系統(tǒng)主要由半導(dǎo)體冷板、真空室、泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機(jī)械泵、維持泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵構(gòu)成。閥門包括前級閥、旁路閥、維持泵閥和高閥組成,各閥門均為氣動閥,由PLC控制氣動閥進(jìn)行控制。

揚(yáng)州明歐精密機(jī)械有限公司位于揚(yáng)州市揚(yáng)子江南路5號,成立于2018年8月。公司專業(yè)從事特種焊接、熱處理、液冷機(jī)箱、及精密機(jī)械加工,生產(chǎn)、改造及銷售自動化設(shè)備的技術(shù)型企業(yè)。